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半导体洁净车间防尘用加湿机 [2018-1-15]来源:

半导体洁净车间防尘用加湿机:半导体是指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料,我们最为常见的半导体就是硅,普通的沙子的主要成分就是二氧化硅,经过提炼后就是硅了。半导体的作用很大,我们使用的电视还有电脑手机就有大量的半导体存在,可以说,如果没有半导体那么电子行业就不会有现在这么发达。

半导体生产必须在洁净车间下进行,因为半导体的组件空间单位都是以微米计算的,一旦生产环境中出现灰尘颗粒粘附在半导体的晶圆上就会影响到精密导线的布局,造成短路或者是断路的严重后果。所以半导体的洁净车间必须要做好控制灰尘颗粒的工作。

那么该如何保证半导体的生产车间不会有灰尘颗粒呢?必须要做到以下几点:

1、不能携带进入;对于洁净车间来说,灰尘的主要来源就是人跟材料,所以所有的人在进入洁净车间就必须穿配套的防尘服,而且跟材料一样需要经过风淋室吹淋以将表面粉尘先行除掉。

2、在清洗半导体晶圆的时候必须使用去离子水,这是为了防止水中粉粒污染晶圆,另外是为了防止水中钠镁钙离子污染金氧半晶体管结构之带电载子信道,确保半导体组件的工作特性。而且在干燥半导体晶圆的时候使用高纯度的氮气。

3、在设计洁净车间的时候就要考虑到静电会吸附灰尘,所以建筑材料要使用不易产生静电吸附的材质,而且材料要耐磨损,这样在工作人员在走动的时候或者是搬运材料的时候就不会有颗粒出现。

4、气压要比室外的要高,这样可以保证将洁净室内的灰尘颗粒顺利排放出去。所以大型的鼓风机是不可缺少的,这样可以快速排放室内空气,达到排放颗粒灰尘的目的。

5、配置加湿机来降尘。加湿机在洁净室中的作用不止是降尘,还可以起到防范静电的作用。静电对半导体的影响也很大,不管是放电还是吸附灰尘到半导体组件的表面,都会影响到产品质量,所以这个非常重要。加湿机有很多类型,湿膜的跟超声波的,这两种加湿方法各有优点,洁净室可以根据自己的需要配置。

 

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