新闻动态News
产品知识Product Knowledge
产品导航Products Navigation
您目前所在的位置:公司新闻_正岛电器
浏览:655
集成电路无尘车间需不需要加湿机 [2018-2-9]来源:

集成电路无尘车间需不需要加湿机:集成电路无尘车间是为了满足半导体制造工艺需求的洁净室,该无尘车间对环境洁净度、温湿度、振动、ESD、AMC控制等都有一定的要求。相对于其他工业洁净室,集成电路制造无尘车间有面积大、洁净等级高、温湿度控制精度高等特点。集成电路制造对无尘车间环境的控制有较为严格的要求。不同的工艺制程对洁净度的要求也各不相同,例如光刻要求在1级的微环境下,而化学机械研磨则只要求1000级的环境即可。

可以说集成电路无尘车间在对环境的要求上达到极致,不光只是温湿度上门有要求,而且对噪声、微振、照度等都有相关的规定和要求,尤其是振动的控制,在洁净室的建筑结构设计上就要有所要求。

好的洁净车间设计不仅能节省能源、降低运行成本、降低人力投入,而且可以给生产提供安全可靠的保证。现在很多集成电路洁净厂房多采用FFU循环系统,这种循环系统的特色是整个洁净室由静压层、工艺层、工艺辅助层和回风通道组成,由FFU提供循环空气的动力,将新风、循环风混合后通过超高效过滤器送入工艺层和工艺辅助层,静压层相对于工艺层为负压。此外,还有生产辅助区为集成电路制造厂务设备区域,包括电力供应、气体和化学品供应、超纯水供应等。

在这个系统中,温湿度的控制也被纳入管理,由于洁净空调系统的能耗占其中的30%以上,所以一个节能安全的温湿度控制设备就非常重要了,特别是湿度控制,因此如何选择好的湿度控制设备可以帮助无尘车间进行节能,可以更好的控制空气湿度,这样就不会出现境地灰尘,影响产品质量。

湿度控制设备有很多,对于FFU循环系统来说可以选择恒湿机,或者是加湿机,加湿机的节能效果很明显,而且在防范静电灰尘的功能上也不弱,所以它成为很多集成电路无尘车间在冬天使用控湿的首选,毕竟冬天空气干燥,对集成电路生产很大,不得不防。正岛加湿机,采用超声波雾化技术,加湿速度快,操作简单方便,是集成电路无尘车间加湿防静电的收选择。

 

 

您可能还对以下内容感兴趣...

1. 新风系统还你一个没污染的家 / 2018-10-23
2. 想减肥那么要记得除湿 / 2018-10-22
3. 防潮对烟叶存储非常重要 / 2018-10-20
4. 电子烟生产车间为什么要控湿 / 2018-10-19
5. 糖果厂空气湿度如何控制 / 2018-10-18
欢迎您提出宝贵的意见和建议,您提交的任何信息,都将由我们专人负责处理。如果不能解决您的疑问,请您联系我们
留言框    
您的单位: *
您的姓名: *
联系电话: *
详细地址:  
常用邮箱:  

 暂无评论或反馈意见!